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离子渗氮后零件尺寸一般都有稍微涨大，但是比气体渗氮的涨大量小。这是因为阴极溅射抵消了一部分由于氮的渗入引起的体积涨大效应。在渗氮零件的棱角处，由于相邻两个面同时渗氮的结果产生了较其他部位更为严重的尺寸膨胀，称为边缘突起。这对接触面的承载能力有不良影响。由于存在阴极溅射，离子渗氮产生的这种边缘突起比气体渗氮小得多，并且可以通过强化阴极溅射，进一步减小边缘突起，获得比较理想的轮廓。
降低渗氮温度能显着减小渗氮零件的变形。离子渗氮在350℃以上处理就有强化效果。采用低温离子渗氮往往可以解决某些零件渗氮变形的难题。同时，低温离子渗氮还具有保持零件足够高的心部强度，增强承载能力等特点。
