离子氮化作为七十年代兴起的一种新型渗氮方法与一般的气体渗氮相比，离子渗氮的特点是：

..点：渗氮速度较快，可适当缩短渗氮周期，离子氮化时间短，能缩短到气体氮化时间的1/3～2/3。

第二点：渗氮层脆性小，离子氮化表面形成的白层很薄，甚至没有，另外引起的变形小，特别适宜于形状复杂的精密零件。

第三点：真空离子渗氮炉可节约能源和氨的消耗量，电能消耗为气体氮化的1/2～1/5，氨气消耗为气体氮化的1/5～1/20。且易于实现局部氮化，只要设法使不欲氮化的部分不产生辉光即可，非渗氮部位便于保护，采用机械屏蔽、用铁板隔断辉光，即可保护。

第四点：离子轰击有净化表面作用，自动去除钝化膜，不锈钢、耐热钢材料无需预先去除钝化膜，可使不锈钢、耐热钢工件直接渗氮。劳动条件有所改善，无公害、离子渗氮处理在很低的压力下进行，排出的废气极少。气源为氮气、氢气和氨气，基本上无有害物质产生。

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