辉光离子氮化炉等离子体的性质：

      1、辉光离子氮化炉等离子体在宏观上是电中性的等离子体是电离了的气体，它由电子、离子和中性粒子三种成分组成。其中电子和离子的电荷总数基本相等，因而作为整体是点中性的。

      2、等离子体具有很高的导电率，等离子体在宏观上虽然是电中性，但由于体系中包含有大量的带电粒子（电子和离子），而且浓度很高，所以具有很好的电导性。

      3、辉光离子氮化炉等离子化学反应比热化学反应容易进行等离子化学反应的特征是热力学上稳定的激发态和离子态，这种反应大多数活化能是很低的，例如在离子分子反应中大多数场合活化能为零，使其反应易进行，变成受扩散支配的反应。

      辉光离子氮化炉由中性原子、分子组成的气体，一般情况下是不导电的。由于自然界存在的各种辐射（..射线、紫外线、放射性元素产生的γ射线等）使气体电离，出现了微量原始电荷（原始载流子）。在近地面的大气中其浓度约为1000离子偶/cm3。于是在直流高压电场下，低压（稀薄）气体中的电子被加速向阳运动，并碰撞气体原子、分子，使之不断被电离产生新电子、离子——自激（或次级）载流子。这后两种放电就是所谓“自持”放电，即在没有外电离源情况下也能维持的放电。