辉光离子氮化炉在工作过程中难免出现故障,那么,它的的常见故障原因是什么呢?分析如下。
现象一:有电压无电流
故障点:炉体真空度是否达到起辉光的真空度;MC-B 控制器弧显灯、故障灯是否亮;阴阳端到炉体是否接触良好。
现象二:出炉工件检验分歧格
故障点:保温时间不够;保温温度不是理想的工艺温度;工件温度不均匀;氨气纯度不够或压力不够;离子电源老化,频率发生变化;真空泵抽气速度达不到。
现象三:频繁出现故障指示灯亮,设备无法正常工作
故障点:用示波器监测两个IGBT的VGE信号是否一致(此时高压尽对不答应接通);炉内尚未起辉前(电压500V以下)的故障,通常与电阻的损坏或主回路上所有连线和连接处接触不良有关;辉光离子氮化炉内刚起辉或起辉后常出故障,有以下几种可能性。
1)IGBT的吸收回路的电容虚焊或失效、电阻的损坏;
2)两个IGBT电压的偏差较大。
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