辉光离子氮化炉在工作过程中难免出现故障，那么，它的的常见故障原因是什么呢？分析如下。
      现象一：有电压无电流
      故障点：炉体真空度是否达到起辉光的真空度；MC-B 控制器弧显灯、故障灯是否亮；阴阳端到炉体是否接触良好。
      现象二：出炉工件检验分歧格
      故障点：保温时间不够；保温温度不是理想的工艺温度；工件温度不均匀；氨气纯度不够或压力不够；离子电源老化，频率发生变化；真空泵抽气速度达不到。
      现象三：频繁出现故障指示灯亮，设备无法正常工作
      故障点：用示波器监测两个IGBT的VGE信号是否一致（此时高压尽对不答应接通）；炉内尚未起辉前（电压500V以下）的故障，通常与电阻的损坏或主回路上所有连线和连接处接触不良有关；辉光离子氮化炉内刚起辉或起辉后常出故障，有以下几种可能性。
      1）IGBT的吸收回路的电容虚焊或失效、电阻的损坏；
      2）两个IGBT电压的偏差较大。