产品介绍：

1.电流、电压闭环控制，电压更稳定，对过电流和短路均有保护，任一元器件故障均有保护和报警装置；

2.整个电源的功率因数更高，更节能，减少对电网的污染（..电网要求功率因数≥0.90）；

3.控制电路实现了全数字化电路，控制精度高，抗干扰性强，操作维修更简便；

4.采用可编程控制器以及数模转换模块进行模拟量模糊控制；

5.采用过程控制仪表**控制升温以及升压曲线；

6.配备耐氨质量流量计，并有流量显示仪进行专业的流量控制以及显示；

7.考虑到真空放电的特点，输电装置采用抗击穿、抗压、耐温等综合性能优异的结构；

8.真空测量采用扩散硅探头的DSPS-Ⅱ真空计（绝压计），压力显示更**；  

9.通孔及Φ8mm以下的盲孔不需要堵孔，节约装炉时间，大大提高了效率。

技术参数：

◇装载抽气时间（满装炉抽至工作压强50Pa）：≤30min；

◇极限真空度：6.7 Pa；

◇压升率：≤1.3×10-1Pa/分钟(7.8Pa/h,以12小时计算)；

◇设备允许.高使用温度：650℃；

◇工作电压：0—800V连续可调；

◇输出波形：近矩形方波；

◇输出频率：1000HZ；

◇控制方式：定频调宽；

◇占空比：10-85%连续可调；

◇灭弧时间：≤12μs；

◇灭弧可靠，不出现弧光损坏工件现象；

◇自动控制参数：温度、压强、气体流量、电源电压、电流、时间等；

◇工作气体：氨气；

◇保温温度控制精度±1℃；

◇保压压力控制精度±1Pa。